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四探針電阻測試儀的測試要根據(jù)不同材料特性需要配置不同的探頭

點擊次數(shù):706 發(fā)布時間:2023-02-07
  四探針電阻測試儀所用的測量方法是一種廣泛采用的標準方法,在半導(dǎo)體工藝中最為常用。其主要優(yōu)點在于設(shè)備簡單,操作方便,精確度高,對樣品的幾何尺寸無嚴格要求。除了用來測量半導(dǎo)體材料的電阻率以外,在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中廣泛使用四探針法來測量擴散層薄層電阻,以判斷擴散層質(zhì)量是否符合設(shè)計要求。
  四探針電阻測試儀的測試要根據(jù)不同材料特性需要,配置不同的探頭:
  1、高耐磨碳化鎢探針探頭,測量硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻;
  2、專用探頭可測試電池極片等箔上涂層電阻率/方阻;
  3、配合四端子測試夾具,測量電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻;
  4、球形鍍金銅合金探針探頭,測量柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。
  四探針電阻測試儀操作步驟:
  1、先松開筆身尾部端側(cè)面的固定小螺絲,輕輕脫下尾部航空插口,保證探針頭部旋轉(zhuǎn)時同步旋轉(zhuǎn),防止扭線斷線,短接。
  2、輕輕擰開探針頭子,然后小心將銅片拉出,記住七片絕緣片與銅片之間的位置,將斷針從銅片卡口座里取下即可。
  3、特別注意一定不能將銅片取下時的位置錯亂,銅片位置按照航空頭四芯接線綠紅黃黑的順序一字排列,并且銅片之間按照寬窄順序互相交叉排列,以免短接。
  4、安裝時銅片及絕緣片按照拆下時的排列輕輕塞進探針頭子,并先將探針頭子擰緊,再將尾部航空頭插上,并且旋緊小螺絲。
  5、將針裝好,注意針頭針尾方向,尖頭為探針頭部。
 

四探針電阻測試儀

 

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